半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。

工藝流程：

設備新工藝一:

原水(設有壓力保護)→增壓泵→砂過濾器→炭過濾器→軟化器(根據地區不合選用)→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→兩頭水箱→RO前水泵→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→RO高壓泵→RO反滲透系統→RO水箱→RO水增壓泵→混床→終端緊密過濾→UV紫外線殺菌→設備用水(水質可以達到15MΩ.cm以上即0.066μs/ ㎝以下，25 ℃)工業(又稱超純水機、超純水設備等)/半導體用超純去離子水(指除去了呈離子方式雜質后的純水)

設備新工藝二:

原水(設有壓力保護)→增壓泵(一用一備)→砂過濾器→炭過濾器→軟化器(根據地區不合選用)→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→兩頭水箱→RO前水泵→緊密過濾器(或稱保安過濾器)→RO高壓泵→RO反滲透系統→RO水箱→RO水增壓泵→普通混床→拋光混床→終端緊密過濾→UV紫外線殺菌→設備用水(水質可以達到18MΩ.cm以上即0.056μs/ ㎝以下，25 ℃) 

應用領域:

　　電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗;

　　電子管生產、顯像管和陰極射線管生產配料用純水;

　　黑白顯像管熒光屏生產、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水;

　　生產液晶顯示器的屏面需用純水清洗和用純水配液;

　　晶體管生產中純水主要用于清洗硅片;

　　集成電路生產中高純水清洗硅片;

　　半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路用純水;

　　半導體材料、晶元材料生產、加工、清洗;

　　高品質顯像管、螢光粉生產;

　　汽車、家電表面拋光處理。