氫氟酸 | |||
項目 | 單位 | UP級規(guī)格 | EL級規(guī)格 |
含量 | % | 49.0~50.0 | 49.0~50.0 |
外觀 | - | 澄清無色 | 澄清無色 |
灼燒殘渣(以硫酸鹽計) | ppm | - | ≤5 |
顆粒(≥0.5um) | 個/ml | ≤25 | - |
顆粒(≥0.3um) | 個/ml | ≤150 | - |
顆粒(≥0.2um) | 個/ml | ≤300 | - |
顆粒(≥1.0um) | 個/ml | - | ≤25 |
氟硅酸H2SiF6 | ppm | ≤100 | ≤200 |
氯化物(Cl) | ppb | ≤2000 | ≤2000 |
硝酸鹽(NO3 ) | ppb | ≤3000 | ≤3000 |
磷酸鹽(PO4 ) | ppb | ≤1000 | ≤1000 |
硫酸鹽和亞硫酸鹽(SO4) | ppb | ≤2000 | ≤3000 |
鋁(Al) | ppb | ≤10 | ≤20 |
銻(Sb) | ppb | ≤15 | ≤30 |
砷(As) | ppb | ≤15 | ≤30 |
鋇(Ba) | ppb | ≤10 | - |
鈹(Be) | ppb | ≤5 | - |
鉍(Bi) | ppb | ≤5 | - |
硼(B) | ppb | ≤10 | ≤50 |
鎘(Cd) | ppb | ≤10 | - |
鈣(Ca) | ppb | ≤10 | ≤50 |
鉻(Cr) | ppb | ≤10 | ≤10 |
鈷(Co) | ppb | - | - |
銅(Cu) | ppb | ≤10 | ≤20 |
鎵(Ga) | ppb | ≤10 | - |
鍺(Ge) | ppb | ≤10 | - |
金(Au) | ppb | ≤10 | - |
鐵(Fe) | ppb | ≤10 | ≤100 |
鉛(Pb) | ppb | ≤10 | ≤20 |
鋰(Li) | ppb | ≤5 | - |
鎂(Mg) | ppb | ≤10 | ≤20 |
錳(Mn) | ppb | ≤10 | ≤20 |
鉬(Mo) | ppb | ≤10 | - |
鎳(Ni) | ppb | ≤10 | ≤20 |
鈮(Nb) | ppb | - | - |
鉀(K) | ppb | ≤10 | ≤50 |
銀(Ag) | ppb | ≤5 | - |
鈉(Na) | ppb | ≤10 | ≤80 |
鍶(Sr) | ppb | ≤10 | - |
鉭(Ta) | ppb | ≤10 | - |
鉈(Tl) | ppb | ≤10 | - |
鈦(Ti) | ppb | ≤10 | ≤20 |
錫(Sn) | ppb | ≤10 | ≤20 |
釩(V) | ppb | ≤10 | ---- |
鋅(Zn) | ppb | ≤10 | ≤20 |