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設備用途：主要用于晶體硅太陽能電池制造中硅片的摻雜形成PN結
工藝流程：石英舟及硅片準備→插片→上料→選擇工藝運行→進舟→升溫穩定→通氧→通源→推進→恒溫→出舟→下舟冷卻→測試→卸片
技術特點：
●工藝舟軟著陸
●精確溫度控制系統
●閉管擴散
●全數字化控制系統
●數字式MFC精確控制氣體流量
●隔熱和密封的爐門系統
●防污染的尾部廢氣處理系統
●緊湊的造型設計
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DS-300型管式高溫擴散爐
- 面議
- 支持批量采購
- 發布時間：2016-07-09 09:02
產地：廣東 | 歸屬行業：光伏生產設備
品牌：捷佳偉創/S.C
有效期至：長期有效
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