設備型號:MD-600A
設備用途:LED芯片制造工序之氧化物透明電極生長
工藝流程:LED wafer裝載并送入反應爐→wafer退火處理→接觸層生長→導電層生長→表面層生長→透明電極退火處理→卸載石墨盤、取出LED wafer
技術特點:
●高產能 ●高良品率
●低生產成本 ●低維護頻率
●極佳生長重復性 ●操作維護簡單
●極短的生長準備時間 ●長穩定生長周期
●高生長均勻性
●無須腔體外烘烤清洗石墨盤
產地:廣東 | 歸屬行業:光伏生產設備
品牌:捷佳偉創/S.C
有效期至:長期有效
設備用途:LED芯片制造工序之氧化物透明電極生長
工藝流程:LED wafer裝載并送入反應爐→wafer退火處理→接觸層生長→導電層生長→表面層生長→透明電極退火處理→卸載石墨盤、取出LED wafer
技術特點:
●高產能 ●高良品率
●低生產成本 ●低維護頻率
●極佳生長重復性 ●操作維護簡單
●極短的生長準備時間 ●長穩定生長周期
●高生長均勻性
●無須腔體外烘烤清洗石墨盤